用真空泵油來保持運動部件的密封、靠泵腔容積變化而實現抽氣的機械真空泵統稱油封機械真空泵。
油封機械真空泵的工作原理都是使泵腔工作室容積機械地增大和縮小而抽氣。當泵腔內工作室容積變得最小時,與泵的入口管道連通,于是氣體進入泵吸入腔,一直到吸入腔容積最大并重新與進氣口分開時為止。當容積減少時,氣體被壓縮,直到氣體的壓力大于一個大氣壓,排氣閥被打開,將氣體排出。這就完成了油封機械真空泵的整個抽氣過程。
當前大量使用的機械真空泵,即使設計得最好,相向運動的零件間配合精度即使很高。在泵達到極限真空時,也難以阻止氣體由低真空端向入口端“突破”返流。另外,由于泵在設計制造及裝配中不可避免地存在有害空間,這也降低泵的極限真空度。
油封機械真空泵就是用油將相向運動的零部件和排氣閥零件間密封起來,將有害空間充填,使得高壓氣體反“突破”的機會少得多,密封性能也就好得多,從而使泵能達到較高的真空度。
油封式旋轉機械真空泵按照結構型式可分為定片式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線式真空泵四種。目前,油封機械真空泵是國內真空獲得技術中應用最廣的一種泵,它可單獨用作低真空設備的排氣用泵,也可用作高真空排氣時的前級真空泵。而目前用的最多的主流產品還是以旋片式真空泵居多。
因此,它已在國民經濟的很多部門,例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業部門中發揮著越來越大的作用。由于這類泵均裝有氣鎮裝置,故也可以抽除潮濕氣體。但現在還不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性,對泵密封油起化學作用、及含有顆;覊m的氣體。
目前,國內的許多研究單位和生產廠家正在設計和生產出抽除水蒸氣和耐腐蝕的油封真空泵系列。隨著新技術、新材料的發展和應用,性能更好的、能滿足各種工業需要的、適應能力強的各種油封機械真空泵必將生產出來。
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